产品特点: ● 采用双重闭环运动控制,电机在高速运动时具有**的定位以及运动时的稳定性; ● 采用本公司开发的嵌入式模块控制电机,提高了电机响应速度,还简化了仪器与PC机的 接口,PC机与仪器通过USB线和S端子线连接; ● 采用花岗石平台,外观简洁大方; ● 表面光由独立四十八组光源组成,每一组均 为恒 流源驱动,连续可调; ● 配有我公司**的全自动测量软件Mclns,大大提高测量效率。 仪器型号 VMS-3020CNC VMS-4030CNC VMS-5030CNC 工 作 台 金属台面尺寸(mm) 506×356 606×466 700×450 玻璃台面尺寸(mm) 350×280 450×350 550×350 运动行程(mm) 300×200 400×300 500×300 仪器重量(kg) 140 240 290 外形尺寸(长X宽X高) (mm) 770×590×1100 950×700×1100 970×670×940 镜头 日本SONY CCD X、Y、Z数显解析度 1μm X、Y坐标示值误差 ≤(3+L/200)μm 电机 伺服电机: 日本 三轴运动速度: 100mm/s 三轴定位精度: 0.001mm 电源 AC110V/220V 消耗功率 <100W(不包括电脑)